uef1 Modélisation des MEMS

Ce cours donne une idée sur les méthodes de modélisation physique utilisée dans l'analyse, la compréhension et la conception des microdispositis MEMS.

Dans une première partie, ce cours retrace et introduits différents aspect de la modélisation mono modèle tel que : dispositifs electrostatique, pull-in pull-out, couplage mécanique-électrostatique, les échanges thermiques (conduction, convection, rayonnement), bilan des échanges, piézorésistivité, piézoélectricité, les effets magnétiques.

Dans un second volet et en parallèle, l'approche multiphysique où deux ou trois modèle se couple entre eux afin de prévoir et de comprendre le comportement des microsystèmes.