Micro et nano fabrication (II) uem1

Bon ce cours viens directement à la suite du cours de microfabrication I dans le premier semestre. Nous allons parcourire en détail les procédés de microfabrication des transistors MOSFET à base de semicon ducteur qui reste la seule école d'apprentissage de ce domaine. Les procédés de nettoyage, de dopage pardiffusion et implantation ionique seront abordés en détail avec les calculs et théorie nécessaire afin d'obtenir les domapges requis. Par la suite nous survolerons une application sur une jonction pn et la physique qu'il y a derrière. Les procédés de dépot des coches minces aussi bien physique que chimiques seront abordés.